產(chǎn)品應(yīng)用
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濕電子化學(xué)品除硼
濕電子化學(xué)品除硼
背景：
在半導(dǎo)體工藝中，濕化學(xué)品帶來的硼元素可能導(dǎo)致晶圓表面的硼元素超標(biāo)從而造成污染。硼是一種p型雜質(zhì)，如果過量的硼在n型區(qū)域中分布，可能會引起逆摻雜，影響產(chǎn)品的良率。
除硼工藝：
技術(shù)特點：
向待處理試劑中添加除硼劑反應(yīng)后，通過膜反應(yīng)器實現(xiàn)硼雜質(zhì)的高效脫除，最終獲得雜質(zhì)含量極低的高純產(chǎn)品。
除硼效果好，硼含量達(dá)0.05ppb以下。
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